GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
标准编号：GB/T 31854-2015
标准名称：光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry
中国标准分类号（CCS）
H82
国际标准分类号（ICS）
29.045
发布日期
2015-07-03
实施日期
2016-03-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
褚连青王奕徐静王鑫、何秀坤、裴会川、冯亚彬
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、江苏中能硅业科技发展有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、洛阳中硅高科技有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司
适应范围
本标准规定了利用电感合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质含量的方法。 本标准适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定。各元素的测量范 围见表1。