GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
标准编号：GB/T 18994-2014
标准名称：电子工业用气体 高纯氯
英文名称：Gases for electronic industry―High purity chlorine
中国标准分类号（CCS）
G86
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-07-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
周鹏云、常侠、刘新明、汪正宏、廖恒易、方华
起草单位
西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、太和气体（荆州）有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司
适应范围
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。 本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。 分子式：Cl2。 相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）。