GB/T 32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法
标准编号：GB/T 32642-2016
标准名称：平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法
英文名称：Flat panel displays glass substrate surface roughness measurement method
中国标准分类号（CCS）
L90
国际标准分类号（ICS）
31.030
发布日期
2016-04-25
实施日期
2016-11-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
黄宁歌、王香、杨万来、张春鹏、裴会川、李霜
起草单位
彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院
适应范围
本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法。 本标准适用于平板显示器用基板玻璃表面粗糙度的测量。