GB/T 34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
标准编号：GB/T 34612-2017
标准名称：蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法
英文名称：Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2017-10-14
实施日期
2018-05-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
杭寅、徐民、赵兴俭、郭宏鹤、潘世烈、张方方、赵松彬
起草单位
中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院新疆理化技术研究所、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、上海大恒光学精密机械有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司
适应范围
本标准规定了蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法。
本标准适用于蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量。