GB/T 16943-1997 电子工业用气体氦

标准编号：GB/T 16943-1997

标准名称：电子工业用气体氦

英文名称：Gases for electronic industry--Helium

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中国标准分类号（CCS）

G86

国际标准分类号（ICS）

71.100.20

发布日期

1997-08-13

实施日期

1998-05-01

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

起草人

起草单位

化学工业部西南化工研究院

适应范围