GB/T 11446.4-1997 电子级水电阻率的测试方法

标准编号:GB/T 11446.4-1997

标准名称:电子级水电阻率的测试方法

英文名称:Test methods for resistivity of electronic grade water

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中国标准分类号(CCS)
L90
国际标准分类号(ICS)
31.030
发布日期
1997-09-01
实施日期
1998-09-01
归口单位
工业和信息化部(电子)
执行单位
工业和信息化部(电子)
主管部门
工业和信息化部(电子)
起草人
起草单位
中国科学院半导体研究所
适应范围

本标准规定了电子级水的电阻率的测试方法。 本标准适用于测试电阻率为(0.5~18)MQ·cm(25℃)的电子级水。