JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
中国标准分类号（CCS）
C14
国际标准分类号（ICS）
71.040
发布日期
2012-12-28
实施日期
2013-06-01
提出单位
归口单位
全国工业陶瓷标准化技术委员会
主管部门
工业和信息化部
行业领域
建材
行业分类
无
起草人
陈奕睿、屈海云 等
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
适应范围
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。