GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷
中国标准分类号（CCS）
G86
国际标准分类号（ICS）
71.100.20
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
万烨、王娟、严大洲、郭琼、柳彤、沙婷、张天泽、廖恒易、孙猛、傅铸红、刘丽娜、张广第、曹小林、方强、杨华志、华祥斌、李楷东、阳辉、罗旭、陈洁、孙小伟、姚显章、尹冬梅、胡树国、杨康、黄辉、李倩、董硕、王大为、杨利、梁永强、梁成科、马昌宁、赵刚、张园园、付梦月、陈海宝、魏东亮、曹素英、陈辉、陈艳珊、金向华、欧基友、牛艳东、马彬淇、杜大艳、袁有录、陶刚义、李纪明、沈俊、汪正宏、常侠、吴靓、方华、李春华、姜阳、秦远望、何波、陈德义、王晶、顾大正、宫兵、钱叶超、吴乾康、高静、毛玲玲、赖晓峰、周鹏云
起草单位
洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江博瑞电子科技有限公司、湖北和远气体股份有限公司、内蒙古兴洋科技股份有限公司、宁夏胜蓝化工环保科技有限公司、太和气体（荆州）有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、宿州伊维特新材料有限公司、南大光电半导体材料有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、和立气体（上海）有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、昊华气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、苏州金宏气体股份有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、三峡大学、福建德尔科技股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院、联雄投资(上海)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、浙江炬和科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司
适应范围
本文件规定了六氯乙硅烷的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于由生产多晶硅副产的六氯乙硅烷经纯化制备的电子用六氯乙硅烷。