GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
中国标准分类号（CCS）
H21
国际标准分类号（ICS）
77.040
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
梁兴勃、李琴、潘金平、李素青、边永智、庄智慧、韩云霄、徐志群、王可胜、张海英、林松青、张雪囡、由佰玲、沈辉辉、焦二强、付明全、詹玉峰
起草单位
浙江金瑞泓科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、广东金湾高景太阳能科技有限公司、巢湖学院
适应范围
本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。
本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。