GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
标准编号：GB/T 42674-2023
标准名称：光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
英文名称：Optical functional films—Measurement method for microstructure thickness
中国标准分类号（CCS）
G15
国际标准分类号（ICS）
71.080.99
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
归口单位
全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会
执行单位
全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会
主管部门
中国石油和化学工业联合会
起草人
夏江南、高建辉、田坤、韩明星、刘玉磊、刘文亮、赵建明、曹建、姜宁、赵朔、程媛、李宗、姚一凡、李文沾、周鹏、罗惠滨
起草单位
中国乐凯集团有限公司、衡山县佳诚新材料有限公司、深圳市纵横标准技术有限公司、东莞市光志光电有限公司、合肥乐凯科技产业有限公司、浙江耀阳新材料科技有限公司、凯鑫森（上海）功能性薄膜产业股份有限公司
适应范围
本文件描述了通过扫描电子显微镜（SEM）检测光学功能薄膜（以下简称薄膜）横截面微结构厚度（以下简称横截面厚度）的方法。
本文件适用于厚度不小于50nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。