GB/T 43772-2024 电子气体 二氧化碳
中国标准分类号(CCS)
L90
国际标准分类号(ICS)
31.030
发布日期
2024-03-15
实施日期
2024-10-01
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
崔增涛、郭琼、兰锋、吴慧明、苏子杰、蔡金、孙福楠、廖恒易、孙猛、傅铸红、牛艳东、刘丽娜、刘清辉、郭静楠、曹小林、方强、尹爱华、徐汝峰、张孛媛、王子源、韩帅、殷昊、刘峰、石唯、何波、唐中伟、赵跃、尚柏羊、边鲁宁、胡树国、李春华、崔贺民、沈远杰、周鑫、赵洁、邵成刚、周鹏云、唐霞梅、朱明、银延蛟、胡迎、郑秋艳、林定标、陈施华、陈艳珊、金向华、禹金龙、江月军、侯鹏、钱吉、袁有录、杜大艳、黄加斗、王小波、俞俊、曹益宁、金雪光、刘尚进、张薇薇、马彬淇、方华、王见见、王云龙、黄辉、史婉君、常侠、张体强、高艳秋、宫兵、贾任远、敖科、杨扬仲夫、张艺山、王晶
起草单位
河南心连心深冷能源股份有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、金宏气体股份有限公司、重庆瑞信气体有限公司、大连华邦化学有限公司、三峡大学、重庆同辉气体有限公司、深圳高发气体股份有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江中硝康鹏化学有限公司、液化空气(中国)投资有限公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江省化工研究院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、中国计量测试学会、哈尔滨黎明气体有限公司、空气化工产品(中国)投资有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司、浙江海畅气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、上海启元气体发展有限公司、浙江省标准化研究院、杭氧集团股份有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、中国计量科学研究院、大连中汇达科学仪器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、四川高精检测服务有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司
适应范围
本文件规定了二氧化碳的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。