GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
标准编号：GB/T 42191-2023
标准名称：MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
英文名称：Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
中国标准分类号（CCS）
L59
国际标准分类号（ICS）
31.080.99
发布日期
2023-05-23
实施日期
2023-09-01
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会
起草人
张威、顾枫、李宋、张亚婷、林瑞梅、李树成、王鹏、李晓波、陈路、高峰、陈君杰、王冰、李根梓、陈广忠、张良、陈立国、茅曙、张宾、许宙、王玮冰、明志茂、曹万
起草单位
北京大学、北京智芯传感科技有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、宁波志伦电子有限公司、华东光电集成器件研究所、南京高华科技股份有限公司、湖南国天电子科技有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、中机生产力促进中心有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、广州奥松电子股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、南京沃天科技股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、昆山传感器测控技术有限公司
适应范围
本文件描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。
本文件适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。